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压电式称重传感器过载的保护方法
时间: 2024-03-14 15:35:22 浏览次数：
压电传感器有许多参数指示器，其中之一是过载维护，过载是指超越设备自身额定负载的过载。现象是电流过大，电气设备发热，线路长期过载会降低线路的绝缘程度，以至烧毁传感器设备或线路；过载维护是指即便负荷超越额定负荷，线路也不会烧坏，但有一定水平，普通为150%，过载运转不能继续。
压电传感器有多品种型，每种构造的过载维护设计办法也不同。许多办法都有各自的优缺陷。采用微机电系统技术的小量程高灵活度压力传感器通常有平膜片、岛膜片、梁膜等构造，在设计过载维护时通常采用凸点等办法完成。
构成办法包括背蚀刻技术、硅直接键合技术和玻璃蚀刻技术。但是，这些构造通常具有很大的局限性，由于空腔尺寸大，灵活度进一步遭到限制，并且硅晶片的应用率降低，制造工艺的复杂性增加，并且消费本钱增加。
目前，小量程高灵活度压电传感器的研讨主要集中在牺牲层构造的压力传感器上。这主要是由于牺牲层构造压力传感器的弹性膜片很薄，厚度能够是2m以至更薄。
在这样薄的构造中，假如采用扩散硅或多晶硅薄膜作为牺牲层构造压力传感器的应变电阻，其厚度相对较大，这对弹性膜片的应力散布有很大影响，不利于牺牲层构造压力传感器的性能优化。因而，经过运用多晶硅纳米薄膜来制造应变电阻器，能够进一步应用牺牲层技术的优点。
过载维护是每个传感器都要思索的要素，由于在运用过程中，丈量值可能会大于范围。只要设计有过载维护的传感器才干更好地运用，并且能够运用更长时间。
如何为每个压电传感器设计过载维护有不同的过载范围，所以无论你买什么样的传感器，你都必需晓得它有几过载维护，以便未来能够更便当地运用。由于过载，没有电路烧坏。
压电传感器有多品种型，每种构造的过载维护设计办法也不同。许多办法都有各自的优缺陷。采用微机电系统技术的小量程高灵活度压力传感器通常有平膜片、岛膜片、梁膜等构造，在设计过载维护时通常采用凸点等办法完成。
构成办法包括背蚀刻技术、硅直接键合技术和玻璃蚀刻技术。但是，这些构造通常具有很大的局限性，由于空腔尺寸大，灵活度进一步遭到限制，并且硅晶片的应用率降低，制造工艺的复杂性增加，并且消费本钱增加。
目前，小量程高灵活度压电传感器的研讨主要集中在牺牲层构造的压力传感器上。这主要是由于牺牲层构造压力传感器的弹性膜片很薄，厚度能够是2m以至更薄。
在这样薄的构造中，假如采用扩散硅或多晶硅薄膜作为牺牲层构造压力传感器的应变电阻，其厚度相对较大，这对弹性膜片的应力散布有很大影响，不利于牺牲层构造压力传感器的性能优化。因而，经过运用多晶硅纳米薄膜来制造应变电阻器，能够进一步应用牺牲层技术的优点。
过载维护是每个传感器都要思索的要素，由于在运用过程中，丈量值可能会大于范围。只要设计有过载维护的传感器才干更好地运用，并且能够运用更长时间。
如何为每个压电传感器设计过载维护有不同的过载范围，所以无论你买什么样的传感器，你都必需晓得它有几过载维护，以便未来能够更便当地运用。由于过载，没有电路烧坏。
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