压力传感器应用原理说明-南京凯基特传感变送器厂家

随着工业技术的快速开展，压力传感器在精细测星范畴的应用市场前景越来越广词。MEMS压力传感骡应运而生。与传特的压力传感器相比，MENMS压力传感器不只体积小，而且现星精度高，功耗低，本钱低。大多数MEMS压力传感器的压力元件是硅膜片。根樱下同的敏)感机制)，MENS压力传感器能够分为三种压阻式、电容式调和振式。其中，硅压阻力IMEMS压力传感器采用高精度半导体电阻应变片，构成惠斯顿。
压力传感器的规范流程如下首先，将四个电阻应变片注入抛光的硅衬底，电阻应变片设计在硅珪摸外表应力大的中央，构成惠斯顿电桥。然后，在图片的反面，从硅片的中间独刻出一个应力杯。键合圆片的反面。依据产品应用，能够在应力杯中拉真空制造绝压MEMS设备，也能够坚持应力杯与大气的衔接，制成表压MENS设备。产品封装后，当珪膜两风的压差发作变H时，应力硅膜会发作弹性变形，毁坏原有的惠斯顿电桥电路均衡，从而产生—个电桥。

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