压力传感器在汽车上使用很广泛
时间: 2022-07-07 15:08:19 浏览次数:
压力传感器在汽车上的应用
压力传感器的工作原理是片面的
压力传感器可大致分为三类:压阻式压力传感器、电容式压力传感器和压电式压力传感器。
接下来,本文将首先介绍压阻式压力传感器的工作原理,然后介绍基于MEMS技术应用于汽车的智能硅压阻式压力传感器的工作原理。
压阻压力传感器
压阻式压力传感器的压力敏感元件是一种基于压阻效应工作的压阻元件。所谓压阻元件,实际上是指集成电路工艺在半导体材料衬底上形成的分散电阻。当它受到外力作用时,其电阻值会随着电阻率的变化而变化。分散电阻在正常工作时需要附着在弹性元件上,常用的是单晶硅膜片。
压阻芯片采用外围固定的硅杯布局,封装在壳体内。在圆形单晶硅膜片上,插入四个分布式电阻,两个在压应力区,另两个在拉应力区。它们组成了一个全桥测量电路。硅膜片固定有圆形硅杯,两侧有两个压力腔,一个是与被测压力连续的高压腔,另一个是低压腔,与参考压力相连,参考压力通常与压力大气相同。当有压差时,膜片变形,使两对电阻的电阻值发生变化,电桥不能平均。它的输出电压反映了隔膜两侧所承受的压力差。
目前,压力传感器是一种典型的汽车传感器,在汽车上得到了广泛的应用。随后被广泛应用于高压场所,如悬浮压力检测、空调制冷压力检测等。现在,压力传感器进一步扩展到高压场所,如汽油焚烧辐射和柴油共轨焚烧辐射系统。可见,压力传感器在汽车领域有着广阔的发展前景。