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压力传感器在使用时有哪些误差是不可避免的?
时间: 2019-04-22 09:21:19 浏览次数:
压力传感器在使用时有哪些误差是不可避免的?

  1、线性误差

  线性误差对力传感器的误差影响也是比较小的,这个误差产生的原因是由于硅片的物理非线性。线性误差曲线可以是凸形曲线,也可以是凹形曲线。对于带放大器的传感器,还会包括放大器的非线性。压力传感器的这四个误差是不能避免的,其中,灵敏度误差和偏移量误差对于力传感器的影响较大,而滞后误差和线性误差对其的影响是很小的,甚至滞后误差是可以忽略不计的。因此,我们在选择高精度的力传感器时,要利用高新的技术来尽量降低这些误差,另外,还可以在设备出厂的时候,进行误差校准,来尽可能的降低误差,满足用户和生产的需要。

  2、灵敏度误差

  该误差产生的原因是扩散过程的变化。灵敏度产生误差的大小是和压力成正比的。如果压力传感器的灵敏度低于典型的值的话,那么灵敏度的误差将是压力的递减函数;如果压力传感器的灵敏度大于典型的值,那么这个灵敏度的误差将会是压力的递增函数。

  3、滞后误差

  在大多数的情况下,压力传感器的滞后误差是可以忽略不计的。为什么呢?因为硅片具有很强的机械刚度,通常只需要在压力变化很大的情况下,才会考虑滞后误差。

  4、偏移量误差

  由于压力传感器在整个的压力范围内,其垂直偏移都是保持恒定的,因此激光调节修正和变换器扩散的变化,将会产生偏移量误差。

 
 
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